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2020年10月14日

Q150T PLUS 涡轮分子泵抽真空镀膜仪

产品简述

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ME580显微镜

Q150T Plus是一款使用涡轮分子泵抽真空的最佳镀膜设备,其可使真空度降至5x10-5mbar。可以溅射具有超细晶粒尺寸的易氧化金属,适用于高分辨率成像。同样地,较低的散射可得到高纯而致密的无定形碳膜。


溅射贵金属和易氧化金属
推荐放大倍数:
• 镀金,金钯合金可达5万倍
• 镀铂可达10万倍
• 镀铬,铱可达10万倍以上
非常适合薄膜应用,例如镀ITO, W, Al, Zn   也可镀其它靶材


Q150T S Plus
全自动溅射镀膜仪,可溅射易氧化金属
可溅射的靶材包括铬、铱、钨、ITO、铝和其他靶材


Q150T E Plus
全自动蒸发镀碳仪(碳棒、碳绳),适合SEM应用
适用于EDS和WDS应用。金属蒸发/光阑清洁可选。


Q150T ES Plus
集成了离子溅射和热蒸镀两种镀膜方式的系统
镀膜头可在数秒内更换,可选金属蒸发/光阑清洁